技術(shù)編號：3340922
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種摻氟氧化錫(FTO)薄膜的制備方法，具體涉及ー種成本更低、エ藝更簡單的利用射頻磁控濺射技術(shù)制備摻氟氧化錫薄膜的方法。背景技術(shù)FTO透明導(dǎo)電玻璃具有優(yōu)良的光電性能，被廣泛用于太陽能電池的窗ロ材料、低損耗光波導(dǎo)電材料及各種顯示器和非晶硅太陽能電池中作為透明玻璃電極等，與生活息息相關(guān)。在薄膜太陽電池上的應(yīng)用太陽能電池是利用光伏效應(yīng)，在半導(dǎo)體p-n結(jié)直接將太陽光的福射能轉(zhuǎn)化成電能的ー種光電器件。TCO薄膜是太陽電池關(guān)鍵材料之一，可作為染 料敏化太陽電...
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