技術(shù)編號(hào)：3340975
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在例如電子部件的配線形成等中使用的、用于蝕刻鋁膜的鋁蝕刻液組合物及其制備工藝，更詳細(xì)來說，設(shè)計(jì)用于蝕刻在構(gòu)成半導(dǎo)體器件如半導(dǎo)體元件和液晶顯示器元件的一種鋁蝕刻液組合物及其制備工藝。背景技術(shù)近年來，越來越需要在微組裝中精密度較高的電極和柵極布線材料，用于半導(dǎo)體器件諸如半導(dǎo)體元件和液晶顯示器元件，建議采用電阻較低的金屬材料。鋁是一種輕金屬，密度小，是半導(dǎo)體制成中最主要的導(dǎo)線材料，它具有低電阻、易于沉積及蝕刻等優(yōu)點(diǎn)，鋁的導(dǎo)電性僅次于銀和銅，居第三位，用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。