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半導(dǎo)體用銅合金接合線的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3344381

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本發(fā)明涉及為連接半導(dǎo)體元件上的電極和電路布線基板的布線而利用的半導(dǎo)體用銅合金接合線。背景技術(shù)現(xiàn)在,作為將半導(dǎo)體元件上的電極與外部端子之間進(jìn)行接合的接合線,主要使用線直徑(線徑)為20 50 μ m左右的細(xì)線(接合線)。接合線的接合一般是超聲波并用熱壓接方式,可使用通用接合裝置、使接合線通過(guò)其內(nèi)部而用于連接的毛細(xì)管夾具等。在利用電弧熱輸入將線尖端加熱熔融,通過(guò)表面張力使其形成球后,將該球部壓接接合于在 150 300°C的范圍內(nèi)加熱了的半導(dǎo)體元件的電極上,其...
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