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一種新型的陰極電弧離子鍍膜裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3347594

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本實用新型所述的是一種新型的陰極電弧離子鍍膜裝置,屬于等離子體加速器型鍍膜技術(shù)。陰極電弧蒸發(fā)離化源中的等離子體加速力可調(diào),陰極電弧蒸發(fā)離化源提供的等離子體狀態(tài)的物質(zhì),處在電弧放電的高密度帶電粒子發(fā)射狀態(tài),并在源的內(nèi)部永久磁體的磁場和外繞大電流線圈磁場的作用下,獲得加速,又在施加于勻速運動的板材的負偏壓的作用下,沉積于板材表面,使板材上得到的膜層可以精確控制,且保證膜厚分布均勻,從而可以產(chǎn)生與膜層厚度有嚴格關(guān)聯(lián)的新膜層色調(diào),如紅色、綠色、藍色等。進板過程關(guān)真...
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