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多弧離子鍍合金涂層的制備方法技術資料下載

技術編號:3349289

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本發(fā)明涉及一種合金涂層的制備方法,特別是。多弧離子鍍是一種設有多個可同時蒸發(fā)的陰極弧蒸發(fā)源的、獨特的物理氣相沉積技術,該技術具有沉積速率快、膜層組織致密、附著性強、均勻性好等優(yōu)點。目前采用多弧離子鍍技術制造合金涂層的主要困難是難以得到符合成分要求的合金涂層成分,即所制備的合金涂層與原要求的合金涂層的成分含量之間存在著明顯偏差,其絕對偏差(指所制備的合金涂層中某一元素的百分含量與原要求的合金涂層中該元素的百分含量之差)甚至達到10%以上,而相對偏差(某合金元...
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