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技術(shù)編號(hào)：3350891

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—般來(lái)說(shuō)，本公開(kāi)涉及回收釕(Ru)和Ru基合金材料的方 法，以及涉及從回收的Ru和Ru基合金材料制成的產(chǎn)品。本公開(kāi)在回 收Ru和Ru基合金沉積靶例如濺射靶方面特別有用，并且特別有用于 從回收的Ru和Ru-基合金材料的粉末制成的靶。背景技術(shù)釕和釕基合金材料日益用于大量先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品的制造，例 如作為高性能、高面記錄密度反鐵磁耦合(anti-ferromagnetically coupled, "AFC")磁記錄介質(zhì)中的耦合層以及作為高集成密度 (integra...
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