欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

技術(shù)編號(hào)：3352381

提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種研磨中監(jiān)測研磨終點(diǎn)的方法。背景技術(shù)化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)工藝中經(jīng)常會(huì)遇到研磨某一目標(biāo)層至該層與其下面的支撐 層的界面處停止的情況。由于化學(xué)機(jī)械研磨工藝是同時(shí)利用機(jī)械研磨和化學(xué)反應(yīng)來處理界 面，因此所采用的研磨液通常容易與被研磨的目標(biāo)層的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，而不容易同其下面 的支撐層的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，因此在研磨目標(biāo)層的過程中，表面的反射率一直在上升，而一旦 露出下面的另一層，則表面反射率出現(xiàn)下降。常用的研磨工藝中就是利用這一原理...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 王老師：功能高分子材料，污水處理，電化學(xué)合成
• 趙老師：1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應(yīng)用研究
• 王老師：1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開發(fā) 4.機(jī)械工程測試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
• 王老師：1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復(fù)合加工 4.超聲/激光復(fù)合加工 5.復(fù)合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
• 郝老師：1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
• 劉老師：非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學(xué)機(jī)理，鋰/鈉離子電池，鋰-空氣電池關(guān)鍵材料，多孔合金電極材料，新型二次電池的設(shè)計(jì)與改性。
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 王老師：機(jī)械制造