技術(shù)編號：3352802
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種利用專用的太陽能電池背面濺 鍍背電極的磁控濺射設(shè)備，實現(xiàn)。背景技術(shù)非晶硅薄膜電池生產(chǎn)過程中，有一步重要的步驟是在沉積完P(guān)IN層作為發(fā)電層后 沉積背電極，背電極做為電池的其中一個電極來使用，并且可以收集電池上每一點的電流， 增大短路電流，提高電池的轉(zhuǎn)換效率，從而改善電池的穩(wěn)定性，以及電池的性能。并且由于非晶薄膜太陽能電池存在著轉(zhuǎn)換效率低，性能不夠穩(wěn)定，并且存在著光 致衰退現(xiàn)象，非晶硅薄膜太陽能電池光吸收使用率低。嚴(yán)...
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