技術編號：3353842
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種鍍膜裝置，尤其涉及一種濺鍍式鍍膜裝置。 背景技術鍍膜技術是利用物理或化學手段在固體表面鍍膜，從而使固體表面具有耐磨損、 耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、放輻射、導電、導磁或絕緣等許多優(yōu)越性能，從而達到提高產品質 量、延長產品壽命、節(jié)約能源和獲得顯著技術經濟效益的作用。其中，濺鍍是指在低真空環(huán)境下利用荷能粒子轟擊靶材表面，通過粒子的動量傳 遞打擊靶材中的原子及其他粒子，并使其沉積在待鍍工件表面上形成薄膜。它依靠荷能粒 子和靶材原子的動量交換，使靶材的原...
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