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一種粘接的組合靶的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3358760

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本實(shí)用新型屬于真空鍍膜,涉及一種需要粘接的組合靶材,具體地說(shuō)是 存在中心孔的粘接組合靶材。背景技術(shù)目前,在光盤(pán)領(lǐng)域DVD-9碟片半反射層使用的靶材的下部(背板)都使用鉬材料, 鉬背板均為平面設(shè)計(jì),整個(gè)粘接面為一平面,粘接層為低熔點(diǎn)金屬(熔點(diǎn)160°C ),在靶材使 用過(guò)程中靶面會(huì)產(chǎn)生高溫(大于160°C ),這樣經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)粘接層金屬熔融后從中心孔位置 流出,或者靶材移動(dòng)后接觸到電極,引起電極短路,影響正常生產(chǎn);由于粘接面為一平面,在 粘接過(guò)程中不僅中心孔的...
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