技術(shù)編號(hào)：3360567
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。適用于火花蒸發(fā)的靶的應(yīng)用以及適于此應(yīng)用的靶的制備方法本發(fā)明涉及一種靶的應(yīng)用，該靶用于通過火花蒸發(fā)(Fimkenverdampfimg)涂敷金 屬氧化化層和/或金屬氮化物層的涂層裝置中，本發(fā)明還涉及通過火花蒸發(fā)制備金屬氧化 物層的方法。本發(fā)明特別涉及該包含至少一種金屬成分和陶瓷成分的靶的運(yùn)行。本發(fā)明對(duì) 以鋁作為低熔點(diǎn)組分的靶特別重要。陰極火花蒸發(fā)是多年來的成熟方法，其已應(yīng)用于涂敷工件和構(gòu)件，并不僅用此淀 積多種多樣的金屬層，也用此淀積金屬氮化物、金屬碳化物和...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。