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一種螺旋波等離子體增強化學氣相沉積裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:3362085

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本發(fā)明涉及一種制備具有光、電和磁等特殊性能要求薄膜的螺旋波等離子體增強 化學氣相沉積裝置,屬于等離子體加工設備。背景技術低壓等離子體的產(chǎn)生方式一般通過直流、交流、射頻、微波等氣體放電形式實現(xiàn), 射頻等離子體氣體放電因可采用電容耦合與電感耦合方式,具有較低的放電電壓和較低工 作氣壓,容易實現(xiàn)等離子體密度、溫度的控制等特性,在半導體材料合成,刻蝕及加工等領 域獲得了廣泛應用,低壓射頻等離子體化學氣相沉積技術是采用等離子體實現(xiàn)化學反應氣 體的電離、分解及激發(fā),通...
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