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技術(shù)編號(hào)：3362721

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本發(fā)明涉及一種鍍膜傘架，尤其涉及一種由平面載盤構(gòu)成的鍍膜傘架。 背景技術(shù)光學(xué)薄膜一般采用蒸鍍法(Evaporation Deposition)、離子助鍍法(Ion Assisteddeposition, IAD)(Ion Beam Sputtering Deposition, IB SD) ii 行鍍制。在膜層鍍制過程中，通常使用鍍膜傘架來承載待鍍?cè)?，待鍍?cè)胖糜阱兡慵苌?，待鍍表面朝向設(shè)置于鍍膜傘架下方的靶材，通過蒸發(fā)或離子轟擊等方式將靶材材料沖至鍍...
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