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用于半導(dǎo)體太陽能鍍膜的工藝腔室的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3362832

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本發(fā)明屬于非晶硅薄膜太陽能電池行業(yè)領(lǐng)域,具體涉及一種用于半導(dǎo)體太陽能鍍 膜的工藝腔室。背景技術(shù)非晶硅薄膜太陽能電池主要由前電極(Front ZnO)、PIN結(jié)和背電極(Back ZnO) 薄膜層構(gòu)成,鍍膜工藝是首先將玻璃放在加熱室內(nèi)加熱,然后通過機(jī)械手將加熱好的玻璃 放置到工藝腔室內(nèi)鍍膜?,F(xiàn)有的工藝腔室包括腔壁、氣體注射器、負(fù)載架以及承受器,其中 氣體注射器固定在腔壁的頂上,負(fù)載架固定在腔壁的側(cè)面上用于放置玻璃,承受器執(zhí)行向 上移動命令,一方面支撐玻璃同時...
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