技術(shù)編號:3362832
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于非晶硅薄膜太陽能電池行業(yè)領(lǐng)域,具體涉及一種用于半導(dǎo)體太陽能鍍 膜的工藝腔室。背景技術(shù)非晶硅薄膜太陽能電池主要由前電極(Front ZnO)、PIN結(jié)和背電極(Back ZnO) 薄膜層構(gòu)成,鍍膜工藝是首先將玻璃放在加熱室內(nèi)加熱,然后通過機(jī)械手將加熱好的玻璃 放置到工藝腔室內(nèi)鍍膜?,F(xiàn)有的工藝腔室包括腔壁、氣體注射器、負(fù)載架以及承受器,其中 氣體注射器固定在腔壁的頂上,負(fù)載架固定在腔壁的側(cè)面上用于放置玻璃,承受器執(zhí)行向 上移動命令,一方面支撐玻璃同時...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。