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技術(shù)編號：3365726

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本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，具體涉及一種用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備中的氣 體墻結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)用化學(xué)氣相淀積方法(Chemical Vapor D印osition，簡稱CVD)淀積薄膜材料，通 常需要各種原材料和載入氣體，原材料包括參與化學(xué)反應(yīng)并形成薄膜產(chǎn)物的原料成分；載 氣包括各種攜帶原材料的氣體，如氫氣、氮?dú)獾?，這些載氣只載入原材料進(jìn)入反應(yīng)室，本身 并不參與化學(xué)反應(yīng)。CVD薄膜淀積過程都包含以下步驟(1)載氣攜帶著反應(yīng)物從反應(yīng)器進(jìn)口，在反應(yīng) 室的壁面約束下...
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