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技術(shù)編號(hào)：3366867

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電材料制備領(lǐng)域，具體涉及一種多元復(fù)合透明導(dǎo)電薄膜的制備方法及其制備的薄膜和應(yīng)用。背景技術(shù)透明導(dǎo)電薄膜是把光學(xué)透明性能與導(dǎo)電性能復(fù)合在一體的光電材料，由于其具有優(yōu)異的光電特性，成為近年來的研究熱點(diǎn)和前沿課題。雖然氧化銦錫ITOandium-Tin Oxide)薄膜是目前綜合光電性能優(yōu)異、應(yīng)用最為廣泛的一種透明導(dǎo)電薄膜材料，但由于銦有毒，價(jià)格昂貴，穩(wěn)定性差，存在銦擴(kuò)散導(dǎo)致器件性能衰減等問題，促使人們力圖尋找一種價(jià)格低廉且性能優(yōu)異的ITO替換材...
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