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電流變效應研磨方法及其研磨裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:3372181

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本發(fā)明涉及研磨加工方法和加工裝置,具體地是一種采用電流變液中混入游離磨料作為研磨劑應用電流變效應形成微小游離磨料球團分布于研磨工具基體表面,提高超光滑表面研磨精度和效率的電流變效應研磨方法。本發(fā)明還涉及所述電流變效應研磨方法使用的裝置。背景技術 隨著信息電子化和光電信號傳輸的高速化和大容量化,融合電子技術和光學技術的光電子產品的需求越來越大,如CD/DVD光學讀數頭、光纖通訊中光/電(PD)和電/光(LD)信號轉換器、投影儀、激光打印機、分子激光器等,光電...
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