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技術(shù)編號：3373910

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，具體涉及一種可快速處理數(shù)據(jù)的原子層沉積設(shè)備。背景技術(shù)傳統(tǒng)的原子層沉積設(shè)備包括真空部件、加熱部件、氣路部件、等離子體產(chǎn)生部件和控制部件，控制部件與其它各部件之間相互連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)指令的發(fā)送接收。然而，原子層沉積設(shè)備的控制部件多采用計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)，計(jì)算機(jī)需要和各個部件直接聯(lián)系，按照各部件的輸入輸出接口提供適配器，然后根據(jù)一定的通信協(xié)議完成數(shù)據(jù)指令的交互，如圖1所示。但是，現(xiàn)有原子層沉積設(shè)備的控制結(jié)構(gòu)采用多個數(shù)據(jù)傳輸接口和器件，計(jì)算機(jī)需...
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