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技術(shù)編號(hào)：3375336

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本發(fā)明涉及一種高熱穩(wěn)定性Ru/TaN雙層擴(kuò)散阻擋層薄膜材料及制備。 背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的突飛猛進(jìn)，半導(dǎo)體制造技術(shù)面臨日新月異的變化。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝主要采用鋁作為金屬互聯(lián)材料antercormect)，在信號(hào)延時(shí)(signal delay)上已經(jīng)受到限制。相對(duì)于鋁，銅具有良好的導(dǎo)電和電遷移性能，從而在超大規(guī)模集成電路(ULSI) 制造中銅已經(jīng)取代鋁成為主要的互連材料。簡(jiǎn)單地說(shuō)，以銅作為金屬互聯(lián)材料的一系列半導(dǎo)體制造工藝可以提高芯片的集成度，提高器件密度，...
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