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技術(shù)編號(hào)：3375417

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本發(fā)明涉及超硬工具的微細(xì)、精密制造，具體涉及一種單晶硅、陶瓷、玻璃、硬質(zhì)合金等硬脆性工件的微溝槽或微錐塔陣列功能表面的機(jī)械制造技術(shù)。背景技術(shù)采用微納米級(jí)的溝槽及錐塔陣列結(jié)構(gòu)表面代替零部件的傳統(tǒng)光滑表面，可以產(chǎn)生更多、更新的功能特性。但是，微納結(jié)構(gòu)表面的微細(xì)加工主要依賴(lài)于光、電子束、離子束、化學(xué)腐蝕等微細(xì)加工方法。目前，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)這些蝕刻加工方法的效率極低，生產(chǎn)周期很長(zhǎng)，且伴隨有腐蝕液難處理、危險(xiǎn)氣體及射頻功率等環(huán)境問(wèn)題。采用金屬基金剛石砂輪工具可以對(duì)硬脆性材...
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