技術(shù)編號(hào)：3377568
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及到一種鍍膜濺射冷卻系統(tǒng)裝置，尤其涉及到一種冷卻擋板裝置。 背景技術(shù)在目前的真空鍍膜設(shè)備中，作為當(dāng)今被廣泛采用的磁控濺射鍍膜工藝，對(duì)其工作環(huán)境要求極為苛刻。冷卻系統(tǒng)卻是影響工作環(huán)境的重要因素，而冷卻擋板裝置是冷卻系統(tǒng)中最重要的一個(gè)裝置。就目前國(guó)內(nèi)真空鍍膜陰極濺射用的冷卻擋板，零部件繁多、冷卻水管排布冗雜，零部件直接與真空箱體連接，存在冷卻效果差，不能有效保護(hù)其他設(shè)備，不易拆卸，同時(shí)給設(shè)備維護(hù)、維修造成極大不便，一旦某個(gè)零部件受損壞，需要在真空箱...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。