技術(shù)編號：3378783
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。上研磨盤和下研磨盤本實用新型涉及一種安裝在雙盤研磨機上，匹配使用的上研磨盤和下研磨盤。背景技術(shù)目前，雙盤研磨機是研磨半導(dǎo)體硅片、光學(xué)晶片等高精研磨工件的專用機種，上、 下研磨盤為其主要工作部件，直接主導(dǎo)著研磨產(chǎn)品的品質(zhì)和技術(shù)參數(shù)。上研磨盤安裝在垂直升降的支架上，下研磨盤設(shè)設(shè)置在與上研磨盤相對應(yīng)的機座上，工件放置在下研磨盤的載體孔內(nèi)。作業(yè)時，上研磨盤降至下研磨盤研磨面，兩者作異向平行旋轉(zhuǎn)合磨，與此同時，研磨液經(jīng)多根上管道流入相應(yīng)的上研磨盤流液孔內(nèi)，并通過流液...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。