技術(shù)編號：3381934
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及硅薄膜材料的制備領(lǐng)域，具體的說是一種中頻磁控濺射法制備納米硅薄膜的濺射裝置。背景技術(shù)太陽能電池技術(shù)快速發(fā)展的今天，針對減少硅材料消耗、降低太陽能電池成本的問題，以硅薄膜為關(guān)鍵材料的薄膜太陽能電池顯示出其獨特魅力。硅薄膜太陽能電池用感光材料(硅薄膜)厚度通常僅有幾微米，可大量節(jié)省高純硅材料。另外，其制造工藝簡單、 耗能少、可大面積連續(xù)生產(chǎn)，并可采用玻璃或不銹鋼等低成本材料作為襯底，同時還具有弱光響應(yīng)較好的特點，特別適合應(yīng)用于沙漠光伏電站和光伏建...
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