技術(shù)編號：3387208
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及鉆石晶圓拋光機改進(jìn)技術(shù)，具體涉及一種鉆石晶圓拋光機加力裝置。背景技術(shù)對鉆石晶圓加工利用中使用的拋光機，其根據(jù)磨削量，主軸在高速旋轉(zhuǎn)的同時還要沿軸向磨盤ー個推力，以確保磨削力度和磨削補償。同時，還要考慮加力的大小，滿足對不同鉆石進(jìn)行不同程度的加力要求。現(xiàn)有的鉆石晶圓拋光機主軸雖然采用了弾性加力裝置，但是還存在對所加力的力度調(diào)整問題。實用新型內(nèi)容本實用新型針對目前現(xiàn)有狀況存在的問題和不足，提出一種鉆石晶圓拋光機加力裝置。本實用新型所采用的技術(shù)方案...
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