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在研磨工藝期間離子轟擊電研磨指示體以減小噪聲的制作方法技術資料下載

技術編號:3387935

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本發(fā)明涉及磁頭制造,更具體的,本發(fā)明涉及在MR/GMR/AMR/TMR等磁頭的ABS研磨期間降低噪聲。背景技術 通過研磨通過切割晶片的各行得到的各條的空氣支撐面(ABS,AirBearing Surface)一起控制多個巨磁阻效應(GMR)磁頭的條紋高度(Stripe Height(SH)),從而多個GMR磁頭排列在一行中。為了將一條的多個GMR磁頭的共同GMR高度和多個條的GMR磁頭的共同GMR高度控制為校正值,通常在每個條中提供檢測研磨的ABS表面的高...
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