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用于粉體顆粒表面鍍膜的對靶磁控濺射裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:3387962

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本實用新型涉及一種粉體顆粒表面鍍膜工藝,具體涉及適用于動態(tài)磁控濺射鍍膜的真空鍍膜裝置。背景技術隨著科學技術的進步和新材料產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,人們對粉體性能的要求也相應不斷提高。通過物理、化學、機械等方法對粉體材料表面或界面進行處理,可以提高或者改變粉體材料的性能,滿足新材料、新工藝和新技術發(fā)展的需要。其中,表面鍍膜技術是應用最多的粉體表面處理技術。粉體顆粒表面鍍膜的方法主要有化學鍍、電鍍、真空濺射鍍、真空蒸鍍、化學氣相沉積和溶膠-凝膠法等。采用化學鍍、電鍍、溶...
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