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技術(shù)編號：3387965

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本實用新型涉及一種傳動加熱系統(tǒng)，具體地講是涉及一種化學(xué)氣相淀積工藝反應(yīng)腔室中的傳動加熱系統(tǒng)。背景技術(shù)光伏應(yīng)用的未來市場發(fā)展，特別是用于與電網(wǎng)相連的光伏電廠的應(yīng)用，關(guān)鍵取決于降低太陽能電池生產(chǎn)成本的潛力。薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程能耗低，具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力；同時，薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電。因此，目前市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長，而制造薄膜太陽能電池的技術(shù)更成為近年來的研究熱點。ZnO是一種N型直接帶隙半導(dǎo)體材料，室溫下禁帶寬度...
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