技術(shù)編號：3388319
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于大面積高質(zhì)量金剛石膜制備，特別是提供了。應(yīng)用于制備光學(xué)級自支撐金剛石膜。背景技術(shù) 金剛石具有極其優(yōu)異的光學(xué)性能，從紫外(0.22μm)到遠(yuǎn)紅外，直至微波波段，除在4～6μm位置存在微小的本征吸收峰外(吸收系數(shù)為12.3cm-1)，不存在任何其它吸收峰。此外金剛石還具有最高的硬度(80～100GPa)和彈性模量(1050GPa)，最高的熱導(dǎo)率(20Wcm-1K-1)，極低的熱膨脹系數(shù)(≈1×10-6℃-1)、極低的微波介電損耗(在35GHz時tan...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。