技術編號：3392642
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種借助于PECVD源在基底上制造層的方法。在實際中，有時候需要利用各種材料形成層。此時，當材料在層中互相混合時是有優(yōu)勢的。本發(fā)明考慮提供一種方法和一種設備，通過這種方法和設備可以制造這種復合層。根據本發(fā)明，提供一種用于制造功能層的方法，其中，將基底引入處理室中，由至少一個等離子體源例如等離子體級聯源產生至少一個等離子體，其中將至少一種沉積材料在等離子體的影響下沉積到基底上，同時，借助第二沉積工序將至少一種第二材料涂覆到基底上，而功能層沒有催化功...
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