技術編號：3393460
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及約納米級的細小金剛石晶體所形成的納米晶體金剛石薄膜。本發(fā)明還涉及制造該納米晶體金剛石薄膜的方法以及使用這種納米晶體金剛石薄膜的各種裝置。背景技術 眾所周知，由于碳原子借助于sp3雜化軌道通過共價鍵相互鍵合所形成的一類金剛石的高鍵合能，它具有其它類型材料所不能具有的特殊物理性能。近年來，通過使用化學氣相沉積方法(CVD方法)已經(jīng)可以合成類似薄膜的金剛石(薄膜金剛石)。在此形成薄膜的方法中，一般使用熱絲CVD方法或微波CVD方法。根據(jù)這些形成金剛石薄...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。