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ZnO蒸鍍材料及由其形成的ZnO膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3393709

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本發(fā)明涉及一種ZnO蒸鍍材料及由其形成的ZnO膜,所述ZnO蒸 鍍材料用于形成例如太陽能電池等中所用的透明導電膜、或者液晶顯示 裝置、電致發(fā)光顯示裝置、觸摸面板裝置的透明壓電傳感器的透明電極、 以及構(gòu)成顯示裝置的有源矩陣驅(qū)動裝置、防靜電導電膜涂層、氣體傳感 器、電磁屏蔽面板、壓電器件、光電轉(zhuǎn)換裝置、發(fā)光裝置、薄膜型二次 電池等中所用的膜。本申請基于2006年4月26日在日本申請的特愿2006-121403號、 2006年9月8日在日本申請的特愿2006-2...
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