技術(shù)編號(hào):3393719
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體襯底的化學(xué)機(jī)械拋光,特別涉及把拋光液輸送給拋光機(jī)的方法?;瘜W(xué)機(jī)械拋光常常用于半導(dǎo)體的平面化制作、接觸或通路塞柱的制作,或者內(nèi)嵌互連線的制作。拋光工藝中,可使用有顆粒的拋光漿。該拋光漿可以以機(jī)械的方式和化學(xué)的方式腐蝕襯底或敷層表面。雖然可將拋光漿配制成待用形態(tài),但多數(shù)拋光漿是被制成濃縮形態(tài)以保持各組份為分隔狀態(tài)的。待用形態(tài)的拋光漿含有大量水。由于水的密度而使用于水的裝運(yùn)價(jià)格很高。有些拋光漿中,拋光微粒能夠改變稀漿PH值。例如,鎢拋光漿可以是包...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。