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化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)及用于拋光的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3393719

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體襯底的化學(xué)機(jī)械拋光,特別涉及把拋光液輸送給拋光機(jī)的方法?;瘜W(xué)機(jī)械拋光常常用于半導(dǎo)體的平面化制作、接觸或通路塞柱的制作,或者內(nèi)嵌互連線的制作。拋光工藝中,可使用有顆粒的拋光漿。該拋光漿可以以機(jī)械的方式和化學(xué)的方式腐蝕襯底或敷層表面。雖然可將拋光漿配制成待用形態(tài),但多數(shù)拋光漿是被制成濃縮形態(tài)以保持各組份為分隔狀態(tài)的。待用形態(tài)的拋光漿含有大量水。由于水的密度而使用于水的裝運(yùn)價(jià)格很高。有些拋光漿中,拋光微粒能夠改變稀漿PH值。例如,鎢拋光漿可以是包...
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