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一種多用途真空鍍膜機(jī)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3396469

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本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)磁控柱狀弧源-柱狀磁控濺射源鍍膜機(jī)。屬于等離子體氣相沉積領(lǐng)域。既能用于表面鍍純金屬膜,也可以用于鍍氮化鈦等化合物膜,是一種多用途的真空鍍膜機(jī)。真空鍍膜機(jī)的種類很多,與柱狀鍍膜源相關(guān)的鍍膜機(jī)有以下幾種類型單獨(dú)安裝柱狀磁控濺射源(簡(jiǎn)稱柱狀靶)的鍍膜機(jī)、單獨(dú)安裝旋轉(zhuǎn)磁控柱狀弧源(簡(jiǎn)稱柱弧源)的鍍膜機(jī)。也有在鍍膜室壁上安裝平面弧源,鍍膜室中央安裝柱狀靶的鍍膜機(jī)、在鍍膜室壁上安裝平面弧源,鍍膜室中央安裝柱狀弧源的鍍膜機(jī)、還有在鍍膜室壁上安裝平面...
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