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技術(shù)編號(hào)：3398232

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本發(fā)明涉及通過將離子注入到絕緣體中來改善絕緣體表面的表面處理方法和設(shè)備。已使用一種方法對(duì)材料進(jìn)行表面處理以改善包括硬度、彈塑性、導(dǎo)電性、潤滑性、耐久性、防潮性、防腐性、潤溫性和透氣性的多種特性。就前述方法而言，一種眾所周知的方法是將離子注入到要處理的工件中以改善工件表面。作為把離子注入到要處理的工件中的方法，眾所周知的方法(以下稱“離子束注入法”)是將工件用離子束直接照射以使離子注入到要處理的工件中。然而，離子束注入法有這樣的問題，即當(dāng)工件具有三維結(jié)構(gòu)時(shí)離...
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