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計算機控制鍍膜裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3401669

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本實用新型涉及鍍膜,特別是一種既能監(jiān)控規(guī)整膜系,又能監(jiān)控非規(guī)整膜系的計算機控制鍍膜裝置。背景技術(shù)薄膜的制備,除了選擇適當?shù)牟牧虾椭苽涔に囃猓€必須精確的控制其厚度。厚度作為最重要的光學薄膜參數(shù)之一,它決定性地影響薄膜的力學性能、電學性能和光學性能;另一方面,幾乎所有的薄膜性質(zhì)都與厚度有關(guān)。因此準確控制薄膜的厚度就成為制備光學薄膜的關(guān)鍵。圖1給出了本實用新型人發(fā)明的由人工監(jiān)控的光學膜厚監(jiān)控系統(tǒng)(申請?zhí)?00510024987.1,申請日2005年4月28日)...
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