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技術(shù)編號：3404617

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本發(fā)明一種納米硅薄膜的制備工藝和產(chǎn)品，涉及一種人工功能半導(dǎo)體薄膜的制備工藝及用此工藝生產(chǎn)的納米硅薄膜，及納米硅在電子器件上的應(yīng)用。背景技術(shù) 納米硅薄膜是近十年來隨著納米科技的發(fā)展而出現(xiàn)的一種人工功能半導(dǎo)體材料。硅是一種重要的半導(dǎo)體材料，它是微電子學(xué)技術(shù)中用于制造器件和大規(guī)模集成電路的主要原材料，同樣，在今后不斷發(fā)展的納米電子學(xué)中硅材料仍然起著獨特的作用。納米硅薄膜(Nano crystalline Silicone Films)中的細微晶粒具有量子點特征，...
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