技術編號：3404959
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及真空處理用腔室。特別是涉及具有多片壁構件，該壁構件的一部分形 成接合面，該接合面之間相互接合，構成腔室主體的真空處理用腔室。背景技術成膜裝置為了防止在成膜操作時異物混入成膜面，或為了像濺射方式那樣生成成 膜材料，其具備隔離室、所謂真空處理用腔室。而且真空處理用腔室在多片壁構件接 合構成的腔室主體中安裝真空泵、隔離閥、發(fā)熱體、靶、磁體、濺射電極等器具。而 且在進行成膜工作時，在真空處理用腔室內(nèi)配設基體，通過開動真空處理用腔室中安 裝的器具，在基體表...
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