技術(shù)編號：3405346
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明總體上涉及基片制造技術(shù)，尤其涉及用于從基片邊緣去 除副產(chǎn)物組的裝置和方法。背景技術(shù)在基片(例如，半導體基片或如在平板顯示器制造中所使用的 平板玻璃)的處理過程中，經(jīng)常用到等離子。例如，作為基片處理過程的一部分，該基片^皮分為多個才莫片(dies)，或者矩形區(qū)域， 其中的每一個都將會成為 一個集成電路。然后在一 系列的步驟中處 理基片，在這些步驟中，材料被有選擇性地去除(蝕刻)或沉積。 在幾個納米級別上控制晶體管門關(guān)鍵尺寸(CD)是至關(guān)重要的，因 為對...
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