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一種刻蝕液及刻蝕方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3405877

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本發(fā)明涉及一種刻蝕液,以及使用這種刻蝕液的刻蝕方法。 背景技術(shù)金屬鋁以其良好的導(dǎo)電性而常被用來在氧化銦錫(ITO)基板表面形成電路。然 而,由于純鋁或鋁合金本身的一些問題,常用金屬鉻或鉻合金與鋁或鋁合金一起在ITO表 面形成鋁、鉻復(fù)合金屬沉積層,然后經(jīng)刻蝕形成電路。例如,由于純鋁或鋁合金強(qiáng)度不高,制 作電路時容易被劃傷造成斷路,故常在鋁或者鋁合金沉積層上面鍍制一層保護(hù)作用的鉻或 鉻合金;另外,鋁或鋁合金直接鍍制在ITO上時附著力較低,所以在鋁或鋁合金層下鍍...
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