技術編號:3408060
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種夾具,特別涉及一種硅片的加工夾具,屬于硅片加工的技術 領域。背景技術在硅片加工過程中,將硅棒加工成硅片后,硅片上會產生不規(guī)則的形狀,為了不影 響后續(xù)加工的質量,要將該不規(guī)則邊去除。傳統(tǒng)的去除不規(guī)則邊的工序是將硅片用膠粘合在一起,再將不規(guī)則邊研磨掉。但 是將硅片粘合在一起存在以下缺點1、尺寸研磨工序結束后,進行表面研磨工序時,要先將粘合在一起的硅片通過溶 解或清洗的方法分開,從而,增加了硅片的損壞率。2、由于硅片是通常膠粘合在一起的,雖然,...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。