技術(shù)編號(hào)：3408293
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型半導(dǎo)體制造行業(yè)中的機(jī)械加工領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材坯料打磨裝置。技術(shù)背景在靶材坯料生產(chǎn)過(guò)程中，通常需要對(duì)其進(jìn)行等靜壓處理。等靜壓處理是把被加工 物體放置于盛滿液體的密閉容器中，通過(guò)增壓系統(tǒng)進(jìn)行逐步加壓對(duì)被加工物體的各個(gè)表面 施加相等的壓力，使其在不改變外觀形狀的情況下縮小分子間的距離增大密度而改善物質(zhì) 的物理性質(zhì)。通常等靜壓處理之前，靶材坯料只經(jīng)過(guò)了粗略的加工，在靶材坯料表面會(huì)有一些 細(xì)小的裂痕，這些裂痕在等靜壓處理過(guò)程中，因受到強(qiáng)大的壓力會(huì)導(dǎo)致裂...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。