技術(shù)編號：3411451
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于低溫等離子體化學(xué)，涉及的是。背景技術(shù) 在廣泛應(yīng)用等離子體的各種薄膜制備的生產(chǎn)過程中(如等離子體化學(xué)氣相沉積)，薄膜是在基片上逐步生成的，但有時在等離子體中也會有大顆粒生成，這些大顆粒就是塵埃顆粒，在工業(yè)生產(chǎn)中的等離子體中的塵埃顆粒的大小從納米量級一直到幾百微米量級。在等離子體中，由于電子速度快，離子速度慢，以致塵埃顆粒表面帶負(fù)電荷，其所帶電荷量與它的大小及所處的等離子體環(huán)境有關(guān)，微米量級的塵埃顆粒所帶的電荷量可以高達(dá)幾千個電子電量。塵埃顆粒一般懸...
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