技術(shù)編號(hào)：3412246
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及介電薄膜，特別涉及一種滲流型復(fù)合陶瓷薄膜m3(zr，Ti) O3-Agx (PZT-Ag)的制備方法。背景技術(shù)近年來介電薄膜材料逐漸成為微電子、材料科學(xué)及固體物理學(xué)等領(lǐng)域的一個(gè)重要 研究熱點(diǎn)，電介質(zhì)薄膜在微電子領(lǐng)域已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。鋯鈦酸鉛是一種典型的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)材料，具有許多優(yōu)異的性能。鋯鈦酸鉛有高的 自發(fā)極化、低的工作溫度、電場(chǎng)的可調(diào)制以及非易失性等特點(diǎn)，在隨機(jī)存儲(chǔ)器方面有著很好 的應(yīng)用潛力，引起越來越多的關(guān)注。同時(shí)，鋯鈦酸鉛還有優(yōu)異的壓電...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。