欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

技術(shù)編號：3413603

提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種腔室裝置和具有該腔室裝置的基片處理設(shè)備。背景技術(shù)CVD(Chemical Vapor Deposition,化學(xué)氣相沉積)是一種用來產(chǎn)生純度高、性能好的固態(tài)材料的化學(xué)技術(shù)。CVD制作過程是將晶圓(基底)暴露在一種或多種不同的前驅(qū)物下，在一定工藝溫度下，在基底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和/或化學(xué)分解來產(chǎn)生欲沉積的薄膜。反應(yīng)過程中伴隨地產(chǎn)生不同的副產(chǎn)品大多會(huì)會(huì)隨著氣流被帶著，不會(huì)留在腔室中。根據(jù)不同的分類方法，CVD可以分為多種類型。例如，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 王老師：功能高分子材料，污水處理，電化學(xué)合成
• 趙老師：1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應(yīng)用研究
• 王老師：1.數(shù)字信號處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開發(fā) 4.機(jī)械工程測試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
• 王老師：1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復(fù)合加工 4.超聲/激光復(fù)合加工 5.復(fù)合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
• 郝老師：1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
• 劉老師：非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學(xué)機(jī)理，鋰/鈉離子電池，鋰-空氣電池關(guān)鍵材料，多孔合金電極材料，新型二次電池的設(shè)計(jì)與改性。
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 王老師：機(jī)械制造