技術編號：3414114
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本文公開的主題大體涉及薄膜淀積過程的領域，其中，諸如半導體材料層的薄膜層淀積在襯底上。更具體而言，本主題涉及用于將光反應性材料的薄膜層淀積在光電(PV) 模塊形式的玻璃襯底上的氣相淀積設備和相關聯(lián)的過程。背景技術基于作為光反應性成分的與硫化鎘(CdS)配對的碲化鎘(CdTe)的薄膜光電(PV) 模塊(也稱為“太陽能板”)在工業(yè)中正獲得廣泛接受和關注。CdTe是具有特別適于將太陽能(太陽光)轉換成電的特性的半導體材料。例如，CdTe具有1. 45eV的能帶隙...
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