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技術(shù)編號(hào)：3416007

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本發(fā)明涉及相變材料及其制備方法，尤其是可用于相變存儲(chǔ)器的Sb-Te-Ti相變薄膜材料。背景技術(shù)相變存儲(chǔ)器(PCRAM)原理是以硫系化合物為存儲(chǔ)介質(zhì)，利用電能(熱量)使材料在晶態(tài)(低阻)與非晶態(tài)(高阻)之間相互轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)信息的寫入與擦除，信息的讀出靠測(cè)量電阻的大小，比較其高阻“1”還是低阻“0”來實(shí)現(xiàn)的。Sb-Te系列相變材料結(jié)晶過程以晶粒生長(zhǎng)占主導(dǎo)，因此相變速率快，而且熔點(diǎn)比 GST(Ge2Sb2Te5)低，因此所需功耗低。然而Sb-Te系列相變材料同時(shí)也存...
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