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技術(shù)編號(hào)：3417817

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本發(fā)明涉及碳納米管的制備技術(shù)，具體涉及一種用原子層沉積設(shè)備制備碳納米管的方法。背景技術(shù)Iijima在1991年發(fā)現(xiàn)了碳納米管(CNT)。它是石墨的一層或少數(shù)幾層碳原子曲卷成的無縫、中空的結(jié)構(gòu)。單壁的管徑最小可至0.5nm，多壁的管徑可至近百納米。CNT依據(jù)結(jié)構(gòu)特征可以分為扶手椅式納米管、鋸齒形納米管和手型納米管。CNT具有良好的力學(xué)性能，它的抗拉強(qiáng)度達(dá)到50-200Gpa ；彈性模量可達(dá)IIPa ；硬度與金剛石相同，卻具有良好的柔韌性。CNT在某些特性方向...
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