技術(shù)編號(hào):3418767
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種真空分離裝置,尤其涉及一種用于將砷化鎵分離為金屬鎵 與金屬砷的真空分解裝置。背景技術(shù)從六十年開(kāi)始,隨著砷化鎵化合物半導(dǎo)體的出現(xiàn),從砷化鎵化合物半導(dǎo)體 的合成、單晶的制備、晶片的生產(chǎn)以及到器件的制備過(guò)程,都留有砷化鎵的尾 料。因此人們開(kāi)始了從砷化鎵中回收鎵的工藝研究,主要有兩種回收工藝思路,簡(jiǎn)述如下砷化鎵在石英系統(tǒng)中的分離。因?yàn)樯榛壍暮铣墒窃谑⑾到y(tǒng)中,在真空 條件下,123(TC左右,砷蒸汽與金屬鎵合成為砷化鎵。因此,我國(guó)有關(guān)單位進(jìn) 行了將...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。