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一種將砷化鎵分離為金屬鎵與金屬砷的真空分解裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3418767

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本發(fā)明涉及一種真空分離裝置,尤其涉及一種用于將砷化鎵分離為金屬鎵 與金屬砷的真空分解裝置。背景技術(shù)從六十年開(kāi)始,隨著砷化鎵化合物半導(dǎo)體的出現(xiàn),從砷化鎵化合物半導(dǎo)體 的合成、單晶的制備、晶片的生產(chǎn)以及到器件的制備過(guò)程,都留有砷化鎵的尾 料。因此人們開(kāi)始了從砷化鎵中回收鎵的工藝研究,主要有兩種回收工藝思路,簡(jiǎn)述如下砷化鎵在石英系統(tǒng)中的分離。因?yàn)樯榛壍暮铣墒窃谑⑾到y(tǒng)中,在真空 條件下,123(TC左右,砷蒸汽與金屬鎵合成為砷化鎵。因此,我國(guó)有關(guān)單位進(jìn) 行了將...
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