技術(shù)編號:3419321
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及真空鍍膜中的技術(shù),更具體地說,涉及將網(wǎng)印油墨用 于真空鍍膜系統(tǒng)中改進遮擋技術(shù)以成型圖案的方法。背景技術(shù)在薄膜制備技術(shù)中,很多情況下是在真空條件下進行的。如蒸發(fā) 鍍、濺射鍍、離子鍍以及低壓化學(xué)氣相沉積等。通常在特定的條件下, 產(chǎn)生大量帶電物質(zhì)和化學(xué)活性物質(zhì),其中所述物質(zhì)適合系統(tǒng)中正在進 行的特定處理(例如從襯底去除材料的刻蝕處理或向襯底增添材料的 沉積處理)。盡管大量帶電微粒(離子等等)和化學(xué)活性物質(zhì)的形成 對于進行等離子體處理系統(tǒng)對襯底表面的功能...
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