技術(shù)編號(hào):3423456
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種加熱器的改良結(jié)構(gòu),尤其涉及涉及一種導(dǎo)氣加熱器結(jié) 構(gòu),特別指具有螺旋導(dǎo)氣槽的導(dǎo)氣加熱器,其能使所導(dǎo)出的氣體均勻分布、快 速擴(kuò)散。背景技術(shù)在晶圓加工中有一項(xiàng)重要步驟在晶圓表面鍍制薄膜,其鍍制過程為對(duì)欲沉積薄膜的氣態(tài)鍍料施加熱能,使之分解為單原子或原子聚合體;接著令氣態(tài)鍍 料散布在晶圓上,最后鍍料會(huì)凝聚在硅晶圓表面形成薄膜。在鍍制薄膜過程中 施加熱能是一項(xiàng)重要關(guān)鍵, 一般是以加熱器做為主要熱源?,F(xiàn)有加熱器是利用 電熱管進(jìn)行加熱,然而電熱管有管徑...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。