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一種加熱器的改良結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3423456

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本實(shí)用新型涉及一種加熱器的改良結(jié)構(gòu),尤其涉及涉及一種導(dǎo)氣加熱器結(jié) 構(gòu),特別指具有螺旋導(dǎo)氣槽的導(dǎo)氣加熱器,其能使所導(dǎo)出的氣體均勻分布、快 速擴(kuò)散。背景技術(shù)在晶圓加工中有一項(xiàng)重要步驟在晶圓表面鍍制薄膜,其鍍制過程為對(duì)欲沉積薄膜的氣態(tài)鍍料施加熱能,使之分解為單原子或原子聚合體;接著令氣態(tài)鍍 料散布在晶圓上,最后鍍料會(huì)凝聚在硅晶圓表面形成薄膜。在鍍制薄膜過程中 施加熱能是一項(xiàng)重要關(guān)鍵, 一般是以加熱器做為主要熱源?,F(xiàn)有加熱器是利用 電熱管進(jìn)行加熱,然而電熱管有管徑...
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